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我司“干法蚀刻清洗液”产品荣获第二十届 工博会新材料优秀参展产品一等奖

浏览次数: 日期:2018-12-05
  第二十届中国国际工业博览会(以下简称“中国工博会”)于2018年9月19日-23日在国家会展中心(上海)举行,中国工博会旗下分立8个专业展区,12个展馆,其中新材料产业展充分利用中国工博会在先进装备制造领域的平台优势,整合石油化工、机器人、信息技术、新能源、汽车、航空航天及国防军工等产业链上下游资源,汇聚全球材料领先企业,集中展示顶尖材料技术在先进装备制造领域的应用成果,打造一个全球材料产业应用的新平台。
由松江区经济委员会牵头了松江9家企业,协同“G60科创走廊”参展中国工博会新材料产业展,9家材料企业来自不同行业,积极展示了各自领域中的亮点产品及尖端技术。上海新阳作为半导体材料企业也位列其中。
  中国工博会是经国务院批准的唯一具有评奖功能的大型工业博览会。新材料是我国重点推进的战略性新兴产业之一,对于支撑整个战略性新兴产业发展,促进传统产业转型升级,保障国家重大工程建设,具有重要战略意义。
  我司“SYS9058干法蚀刻清洗液”产品,荣获第二十届工博会新材料优秀参展产品一等奖,SYS9058是由多种活化物组成的高性能超纯化学品,主要应用于芯片制程工艺中干法刻蚀与灰化后的清洗,特别对Cu/Low-k材料的清洗有效。在中芯国际130nm-28nm工艺生产线上已取代国际同类产品。此前,中芯国际此类材料完全依赖于进口。随着本产品在各条大生产线上通过验证,用量上量,取代进口,打破国际行业垄断,本产品必将为我国集成电路产业的发展奠定基础,为促进国家战略和信息安全作出应有贡献,产品市场前景值得期待!

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